MC 氣體標準質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹：

  MC 氣體標準質(zhì)量流量控制器全球控制響應(yīng)很快,、很穩(wěn)定的質(zhì)量流量控制器,，可測量并控制低至2.5微升的流量,，依照用戶應(yīng)用需求量身定制閥門孔徑以確保達到很好工作效果。

所有氣體的滿量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之間（ H2 為 10,000 SLPM）

監(jiān)測四個變量： 質(zhì)量流量,、體積流量,、壓力和溫度

控制三個變量之一：質(zhì)量流量、體積流量或壓力

預(yù)加載98 多種氣體校準且可供用戶選擇

本地,、模擬或數(shù)字控制,，包括工業(yè)協(xié)議

技術(shù)參數(shù)：

穩(wěn)態(tài)控制范圍：滿量程的0.01% – 100%

NIST 可追溯校準

標準精度：讀數(shù)的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準

高精度：讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%,，以較大者為準

重復(fù)性：±（讀數(shù)的0.1% + 滿量程的0.02%）

典型控制響應(yīng)時間：快至 30 ms

預(yù)熱時間：<1秒

兼容氣體：98+ 純氣體和混合非腐蝕性氣體

工作溫度：–10°C 至 +60°C

滿量程工作壓力：160 PSIA (11 barA)